激光震蕩衰減水分儀在許多領(lǐng)域都非常重要，例如光譜學(xué)，化學(xué)分析、醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測和工業(yè)生產(chǎn)中的污染物控制等。在過去二十年間，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步，半導(dǎo)體生產(chǎn)所用的氣體中允許的不純度減少了四個(gè)數(shù)量級。
該儀器在性能上做了重大改革，摒棄了傳統(tǒng)儀器操作費(fèi)時(shí)費(fèi)力、人工因素影響大等缺點(diǎn)，適用于各個(gè)行業(yè)以及實(shí)驗(yàn)室的需求，在使用中更便利。一般來說，水分儀測量一般樣品只需幾分鐘，檢測結(jié)果準(zhǔn)確，且檢測效率遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于烘箱法，避免了因?yàn)槿斯ひ蛩貙y量結(jié)果產(chǎn)生的誤差。除此之外，水分儀還具有測量水分范圍寬、精度高、顯示清晰、測量迅速、性能穩(wěn)定、指標(biāo)可靠等優(yōu)點(diǎn)，可隨身攜帶在現(xiàn)場快速檢測。
超高純度氣體對于半導(dǎo)體集成電路中所要求得越來越小的幾何特點(diǎn)具有極其重要的作用。特別是已經(jīng)證實(shí)了的，氣體中只要有十億分之幾(ppb)的水分就可在硅片上導(dǎo)致瑕疵。所以半導(dǎo)體制造商要求氣體供應(yīng)商清楚地保證水分不能大于1-10ppb，今后會要求更低的水平。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對高純度氣體的需求對氣體供應(yīng)商和分析儀器制造商提出了巨大挑戰(zhàn)。微量水分的監(jiān)測不僅用于大用量氣體，例如氮?dú)狻⒀鯕?、氫氣、氦氣和氬氣，而且還要監(jiān)測特殊氣體，例如HCl，HBr，BF3，AsH3，CF4和許多其他氣體。這些氣體往往是高腐蝕性、易反應(yīng)和有毒的。
激光震蕩衰減水分儀是少數(shù)能達(dá)到上述要求的一種基于激光的光譜技術(shù)?；诠馇凰ナ幑庾V(CRDS)原理的儀器，MTO-1000-H2O，可以準(zhǔn)確、快速地檢測普通氣體中200ppt的水分，此儀器還可用于腐蝕性和有毒氣體。
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